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MOCVD加热器

● 产品概述:
       MOCVD(有机金属化学气相沉积法,Metal-organic Chemical Vapor Deposition)是在基板上生成半导体薄膜的一种方法,是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
      电阻丝加热器主要是用在托马斯(被爱思强收购)设备。加热丝一般是钨丝,反射板用PBN制作,电阻加热以辐射换热为主,通过多区域加热优化各区的结构实现温度均匀化的配置。
      电阻片加热器主要用在维易科(Veeco)设备。这种加热器加热直接,而且加热效率高。
主要参数:

设备商 机型 加热器

Thomas Swan

19x2” 31x2” 54x2” 69x2” Zone A/B/C

Veeco

21 x2” 45 x2”    

Zone I /M /O


产品的应用:
  MOCVD设备内基盘加热。
联系方式:
   订购热线:0534-2129266

* 国晶官网链接:http://www.guojingxincai.com

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