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【精密陶瓷】有机EL坩埚的应用

 

      有机EL,是Organic Electro-Luminescence的简称。有机EL坩埚又叫hearth liner(炉膛内衬)。所蒸发的阴极材料为容易释放电子的金属,多为铝,银镁合金,钙等金属薄膜。

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      有机EL坩埚是电子束沉积法(以下简称EB法)中,放置于设备凹部(一般被称作hearth或者hearth孔,或者坩埚穴 )用来盛放蒸发材料的坩埚。下图为装有有机EL坩埚的磁场偏向型EB蒸发源(电子枪)的示例图

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      坩埚炉床壁由铜制成,通过冷却水进行冷却,包含冷却水在内的部分被称作是“hearth”,“hearth”可以放置好几组,也可以直接将蒸发材料放入“hearth”内,根据需要进行旋转一下“hearth”的方向,让电子束直接打在蒸发材料上。不过,将蒸发材料直接放进“hearth”的情况很少。放进“hearth”里面的衬底liner,被称作“hearth liner”.一般会放入坩埚,然后将蒸发材料放入坩埚内进行蒸发。
      山东国晶新材料有限公司是国内较早实现化学气相沉积技术生产有机EL坩埚的企业,拥有专业的研发团队及自主设计的大规模化学气相沉积生产线,可根据客户用途设计生产方案和产品规格。目前,国晶公司生产的有机EL坩埚已通过多家客户的测试并大规模使用。

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