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MOCVD涂层石墨盘

产品概述
     SIC 涂层石磨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高和耐酸碱盐及有机试剂等特性,物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较,高纯石墨在400℃时开始发生强烈氧化,即 使温度不高,长期应用也会因氧化而掉粉末,会依附工件和台面或污染使用环境,因此SIC涂层石墨基座作为一种新耗材MOCVD设备、粉末烧结等工序上逐 渐代替高纯石墨。
主要特点
   1.高温抗氧化:抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好;
   2.纯度高:高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的;
   3.耐冲刷:硬度高、表面致密、颗粒细;
   4.抗腐蚀性:耐酸、碱、盐及有机试剂;
   5.SIC表面层为β-碳化硅,属面心立方。
  主要参数

性能

单位

数值

表观密度

g/cm3

3.15-3.20

莫氏硬度

-

9.5

晶格常数

nm

α 0.434

热传导率

W/m.K

80

热膨胀率

10-6-1

4.8×10-6

产品应用
外延生长用的石墨基座涂层(包括Veeco,AIXTRON,Thomas Swan)。
联系方式:
   订购热线:0534-2129266
*公司网址:http://www.guojingxincai.com

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