●产品概述
  SIC 涂层石磨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高和耐酸碱盐及有机试剂等特性，物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较，高纯石墨在400℃时开始发生强烈氧化，即 使温度不高，长期应用也会因氧化而掉粉末，会依附工件和台面或污染使用环境，因此SIC涂层石墨基座作为一种新耗材MOCVD设备、粉末烧结等工序上逐 渐代替高纯石墨。
● 主要特点：
1.高温抗氧化：抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好；
2.纯度高：高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的；
3.耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细；
4.抗腐蚀性：耐酸、碱、盐及有机试剂；
5.SIC表面层为β-碳化硅，属面心立方。
●  主要参数：

●产品应用：
  外延生长用的石墨基座涂层(包括Veeco，AIXTRON,Thomas Swan)。
●联系方式：
   0534-2129266
*公司网址：www.guojingxincai.com